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標(biāo)準氣體的狀態(tài)是溫度為0℃、?壓力為101.325kPa的氣體狀態(tài)。?
這一標(biāo)準被各國科技領(lǐng)域廣泛采用,?作為氣體測量和計算的基礎(chǔ)。
其在電子器件生產(chǎn)工藝中.廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應(yīng)氣和載氣。
用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法。這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。
為減少電能消耗、降低成本、都在研制和應(yīng)用各種混合氣。其中以應(yīng)用氮-氫混合氣為較多。國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮氫混合氣,也有采用液氮分解法獲得氮氫混合氣的。
標(biāo)準氣還可用于環(huán)境監(jiān)測,有毒的有機物測量,汽車排放氣測試,天然氣BTU測量,液化石油氣校正標(biāo)準,超臨界流體工藝等。標(biāo)準氣視氣體組分數(shù)區(qū)分為二元,三元和多元標(biāo)準氣體;配氣準確度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差標(biāo)準,但各公司均有企業(yè)標(biāo)準。組分的最低濃度為10級,組分數(shù)可多達20余種。配制方法可采用重量法,然后用色譜分析校核,也可按標(biāo)準傳遞程序進行傳遞。
用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法,由于采用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均相對較高。國外,由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高,使用單位多采用這種方法獲得混合氣。國內(nèi)若從專業(yè)鋁合金門窗廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解獲得的氮氧混合氣,由于液氮來源不同,大多數(shù)質(zhì)量較差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外,液氮多來源于化肥廠,目前,供應(yīng)上相對比較緊張,在成本上也相對較高。
氮氫混合氣不僅可在生產(chǎn)電子器件時取代氧氣用作保護氣,還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業(yè). 一旦被廣泛推廣應(yīng)用,必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟效益和社會效益。
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