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電子特種氣體行業(yè)經(jīng)過國內(nèi)發(fā)展通過不斷的技術(shù)改革和經(jīng)驗(yàn)的積累，業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)在產(chǎn)品上的自我突破，已達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)。
在國內(nèi)市場的發(fā)展?jié)摿^大，氣體的需求也日益增加。工業(yè)氣體的種類繁多,主要包括氮?dú)?、氧氣、氫氣、二氧化碳等?特種氣體品質(zhì)較多，其中主要包括電子特種氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體等。工業(yè)氣體是一種瓶裝液態(tài)氣體，在常溫常壓下呈氣態(tài)，氣體種類繁多，主要用于各種工業(yè)制造方面。
從目前產(chǎn)業(yè)鏈上來看，工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)的上游包括空氣及工業(yè)廢氣原料、基礎(chǔ)化學(xué)原料行業(yè)、氣體分離設(shè)備制造業(yè)等等，下游主要應(yīng)用于鋼鐵、石油化工、電子行業(yè)、食品行業(yè)等等。
電子特氣在集成電路、顯示面板、化合物半導(dǎo)體器件等電子工業(yè)生產(chǎn)中是不可或缺的原材料。根據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院的統(tǒng)計(jì)2020年我國電子特氣應(yīng)用市場結(jié)構(gòu)，集成電路制造占比最高，約占總體電子特氣市場的44%。顯示面板領(lǐng)域占比約35%，太陽能電池領(lǐng)域占比約13%，LED及其他領(lǐng)域占比約8%。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，電子特氣的種類、數(shù)量仍在不斷增加。
電子氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程工藝，電子大宗氣體通常用于氣體稀釋、腔體清潔、腔體排氣等環(huán)節(jié)。不同類型的電子特氣根據(jù)不同的物理化學(xué)性質(zhì)應(yīng)用于不同的工藝環(huán)節(jié)，包括沉積、光刻、刻蝕、擴(kuò)散、退火等關(guān)鍵工序。可以說，電子氣體幾乎用于集成電路制造的每一個(gè)環(huán)節(jié)，是集成電路制造的血液。
工業(yè)氣體用量正在掘起的產(chǎn)業(yè)有：煤礦滅火 、石油開采、煤氣化和煤液化，玻璃熔化爐、水泥生產(chǎn)窯、耐火材料生產(chǎn)窯，磚瓦窯等工業(yè)爐窯、食品速凍，食品氣調(diào)包裝、啤酒保鮮、光學(xué)、國防工業(yè)中的燃料、超導(dǎo)材料生產(chǎn)、電子、半導(dǎo)體、光纖生產(chǎn)、農(nóng)業(yè)、畜牧業(yè)、魚業(yè)、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒、粉碎廢舊輪胎等環(huán)保產(chǎn)業(yè)、建筑、氣象、文化、文物保護(hù)、體育運(yùn)動(dòng)、公安破案、醫(yī)療保健產(chǎn)業(yè)中的冷刀、重危病人吸氧、高壓氧冶療、人體器管低溫冷藏 、麻醉技術(shù)及氧吧等。
電子氣體的生產(chǎn)過程包括分析檢測(cè)、合成、提純、充裝、混合配比等多個(gè)工藝流程。為了滿足下游半導(dǎo)體制造的純度和雜質(zhì)含量要求，提純工藝非常重要，根據(jù)上游合成氣或原料氣組成，進(jìn)行低溫精餾或多級(jí)純化。
在氣體制備過程中，需要同時(shí)滿足高潔凈度、高密封性、高穩(wěn)定可靠性的要求。潔凈度方面，上游合成制備屬于化工生產(chǎn)過程，無特殊潔凈度要求，氣體經(jīng)過提純后，進(jìn)行氣體沖入和混合制備需要滿足下游集成電路制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。密封性方面，由于具有化學(xué)活性，電子氣體，尤其是電子特氣在生產(chǎn)過程中對(duì)系統(tǒng)材料與半導(dǎo)體制造要求保持一致，防止引入雜質(zhì)或氣體腐蝕引起泄漏、污染等危害。穩(wěn)定可靠性方面，電子特氣的品質(zhì)指標(biāo)包括純度、雜質(zhì)顆粒含量等，指標(biāo)的任何變化都會(huì)影響下游半導(dǎo)體制造的結(jié)果。因此，為保證電子特氣產(chǎn)品的一致性，對(duì)氣體制備工藝系統(tǒng)的控制指標(biāo)穩(wěn)定性要求也非常重要。
